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真空泵的用途及適用的工藝類型
真空泵的用途
根據真空泵的性能,在各種應用的真空系統(tǒng)中它可承擔如下一些工作。
(1)主泵。在真空系統(tǒng)中,用來獲得所要求的真空度的真空泵。
(2)粗抽泵。從大氣壓開始,降低系統(tǒng)的壓力達到另一抽氣系統(tǒng)開始工作的真空泵。
(3)前級泵。用以使另一個泵的前級壓力維持在其最高許可的前級壓力以下的真空泵。
前級泵也可以做粗抽泵使用。
(4)維持泵。在真空系統(tǒng)中,當抽氣量很小時,不能有效的利用主要前級泵,為此,在
真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級泵,維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之
低壓的真空泵。
(5)粗(低)真空泵。從大氣壓開始,降低容器壓力且工作在低真空范圍的真空泵。
(6)高真空泵。在高真空范圍內工作的真空泵。
(7)超高真空泵。在超高真空范圍內工作的真空泵。
(8)增壓泵。裝于高真空泵和低真空泵之間,用來提高抽氣系統(tǒng)在中間壓力范圍內的抽
氣量或降低前級泵容量要求的真空泵(如機械增壓泵和油增壓泵等)。
2 各類真空泵適用的工藝類型
(1)水環(huán)真空泵。適用于真空濃縮、真空脫水、真空脫色、真空干燥、真空保鮮、真空
儲藏、真空輸送、真空成型等工藝。
(2)往復真空泵。適用于真空蒸餾、真空濃縮、真空浸漬、真空過濾、真空造型、真空
干燥、鋼液真空處理等工藝。往復真空泵與水環(huán)真空泵使用的工藝基本相同。但是,往復真
空泵不能直接抽水蒸氣,需要抽水蒸氣時一定要配備冷阱,采用制冷壓縮機系統(tǒng)冷卻。
(3)油封機械真空泵(包括滑閥泵、旋片泵、定片泵)。適用于真空蒸餾、真空干燥、
真空浸漬、真空燒結、真空絕熱、真空釬焊、真空鍍膜、真空熱處理等工藝中使用。當前,
旋片式油封機械真空泵,做為直排大氣的前級泵,使用的量大面廣。
(4)羅茨真空泵(機械增壓泵)。適用于真空燒結、真空釬焊、真空浸漬、真空干燥、
真空鍍膜、真空輸送、真空冶煉等工藝中使用。絕大多數(shù)羅茨泵都不能用于直排大氣,需要
配備旋片泵或滑閥泵作為前級泵使用。濕式羅茨泵可以直排大氣,主要用于造紙工業(yè)中。
(5)油增壓泵。適用于真空冶煉、真空燒結、真空釬焊、真空熱處理等工藝中使用。它
與機械增壓泵相類似,不能直排大氣,必須用旋片泵或滑閥泵等作為前級泵。
(6)油擴散泵。適用于真空鍍膜、真空熱處理、真空冶煉、真空提純、電子真空器件、
真空分析儀器、真空檢漏儀、宇宙空間真空模擬裝置、加速器真空系統(tǒng)等工藝中使用。它適
合于抽取高真空使用,本身不能直排大氣,必須配備前級真空泵。
(7)干泵(包括螺桿泵、渦旋泵和爪形泵)。適用于無油清潔的真空工藝過程,例如半
導體行業(yè)、電子行業(yè)、化工行業(yè)等各種工藝使用,這幾種泵都能直排大氣。
(8)吸附泵。適合于各種真空電子器件、集成電路、分析儀器、表面儀器以及各種要求
清潔無油的真空系統(tǒng)中使用。
(9)鈦泵(包括濺射離子泵、升華泵)。適用于真空鍍膜、大規(guī)模集成電路、表面物理
和表面化學、熱核物理、等離子體物理和超導技術等工作中使用。
(10)分子泵。適用于真空鍍膜、集成電路、表面物理、表面化學、等離子體物理、光
學儀器、熱核反應和宇航技術工作中使用。
(11)水噴射泵。適合于真空導料、真空輸送、輕工、化工、化纖、制藥、涂料、油脂、
造紙、燒堿、制糖、食品、制磚和真空除氧等工業(yè)領域中使用。
(12)水蒸氣噴射泵。適合于真空冶燒、真空脫氣、真空蒸發(fā)、真空干燥和真空回潮等
工藝中使用。
(13)低溫泵。適合于真空鍍膜、表面物理、超導技術和宇航技術等工作中使用。
